신청 기술 명칭
3차원 다공성 구조체 및 이의 제조 방법
페이지 정보
작성일15-03-17 11:49-
- 출원번호
- 10-2010-0077538
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- 출원일자
- 2010년08월11일
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- 출원상태
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- 공개번호
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- 공고일자
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- 등록번호
- 10-1269871
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- 등록일자
- 2013년05월27일
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- 심사청구항수
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- IPC 분류
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- 발명자
- 문준혁|강지환|진우민
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- 출원인
- 서강대학교산학협력단
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- 대리인
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- 우선권
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- 우선권 주장일
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- 우선권 주장국
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- 지정국
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- 국제 출원 번호
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- 국제 공개 번호
대표 청구항
광간섭 리소그래피를 이용하여 3차원 다공성 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;
상기 3차원 다공성 포토레지스트 패턴의 기공 표면에 촉매를 코팅하는 단계;
상기 촉매가 코팅된 상기 3차원 다공성 포토레지스트 패턴의 기공 표면에 금속을 코팅하여 금속/포토레지스트
복합체를 형성하는 단계; 및
상기 금속/포토레지스트 복합체로부터 상기 포토레지스트를 제거하여 3차원 다공성 구조체를 형성하는 단계
를 포함하며,
상기 금속/포토레지스트 복합체는, 상기 촉매가 코팅된 상기 3차원 다공성 포토레지스트 패턴의 기공의 일부 또
는 전부를 채우도록 상기 금속을 코팅함으로써 형성되는 것인,
3차원 다공성 구조체의 제조 방법.