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판매기술목록

신청 기술 명칭

3차원 다공성 구조체 및 이의 제조 방법

페이지 정보

작성일15-03-17 11:49
  • 출원번호
    10-2010-0077538
  • 출원일자
    2010년08월11일
  • 출원상태
  • 공개번호
  • 공고일자
  • 등록번호
    10-1269871
  • 등록일자
    2013년05월27일
  • 심사청구항수
  • IPC 분류
  • 발명자
    문준혁|강지환|진우민
  • 출원인
    서강대학교산학협력단
  • 대리인
  • 우선권
  • 우선권 주장일
  • 우선권 주장국
  • 지정국
  • 국제 출원 번호
  • 국제 공개 번호

대표 청구항

광간섭 리소그래피를 이용하여 3차원 다공성 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;
상기 3차원 다공성 포토레지스트 패턴의 기공 표면에 촉매를 코팅하는 단계;
상기 촉매가 코팅된 상기 3차원 다공성 포토레지스트 패턴의 기공 표면에 금속을 코팅하여 금속/포토레지스트
복합체를 형성하는 단계; 및
상기 금속/포토레지스트 복합체로부터 상기 포토레지스트를 제거하여 3차원 다공성 구조체를 형성하는 단계
를 포함하며,
상기 금속/포토레지스트 복합체는, 상기 촉매가 코팅된 상기 3차원 다공성 포토레지스트 패턴의 기공의 일부 또
는 전부를 채우도록 상기 금속을 코팅함으로써 형성되는 것인,
3차원 다공성 구조체의 제조 방법.​

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