시료로 신호빛을 제공하고, 상기 시료에 대해 집광 및 시준되어 되돌아온 신호빛과 기준빛을 I-신호 및 Q-신호
로 변환하여 출력하는 헤테로다인 간섭계;
시료가 배치되는 시료대를 구비하고, 상기 시료대를 신호빛의 진행 방향에 대해 수직한 두 방향으로 이동시키는
XY 스캐너;
상기 XY 스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동 장치;
상기 헤테로다인 간섭계로부터 제공되는 신호빛을 시료의 표면으로 집광시키는 집광 장치;
상기 시료에 집광된 후 시료에 의해 반사되거나 투과된 신호빛을 시준시키는 시준 장치;
상기 헤테로다인 간섭계로부터 출력되는 I-신호 및 Q-신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D 변환기;
상기 A/D 변환기로부터 제공되는 디지털화된 I-신호 및 Q-신호를 입력받아 시료의 표면의 정보를 추출하거나,
상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하는 컴퓨터;
를 구비하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경.​