시료로 탐지빛을 제공하고, 상기 시료에 대해 집광 및 시준되어 되돌아온 탐지빛과 기준빛을 I-신호 및 Q-신호
로 변환하여 출력하는 I/Q 간섭계;
시료가 배치되는 시료대;
상기 시료대를 탐지빛의 진행 방향에 대해 수직한 두 방향으로 이동시키는 XY 스캐너;
상기 XY 스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동 장치;
상기 시료대를 탐지빛의 진행 방향과 동일한 방향으로 이동시키는 상하 이동 기구;
상기 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 미세 거리 조정 장치;
상기 I/Q 간섭계로부터 제공되는 탐지빛을 시료의 표면으로 집광시키거나 시료에 의해 반사되거나 투과된 탐지
빛을 시준시켜 I/Q 간섭계로 다시 제공하는 집광/시준 장치;
상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하거나, 상기 미세 거리 조정 장
치로 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 신호를 전송하며, 상기 I/Q 간섭계로부터 제공되는 I-신호 및 Q-신호를
입력받아 시료의 표면 또는 내부에 대한 정보를 추출하는 컴퓨터;
를 구비하고, 상기 컴퓨터는 상하 이동 기구를 임의의 위치에 고정시킨 후 XY 스캐너를 구동하여 시료의 제1 단
층에 대하여 스캐닝한 후, 상하 이동 기구를 구동시켜 시료대를 이동시킨 후 XY 스캐너를 구동하여 시료의 제2
단층에 대하여 스캐닝하며, 이러한 과정을 반복적으로 수행하여 시료에 대하여 다단층 스캐닝을 수행하며,
상기 시료의 표면을 스캐닝할 때 상기 집광/시준 장치에 의해 I/Q 간섭계로 다시 제공되는 탐지빛은 시료의 각
위치에 대한 위상 변화와 진폭 변화에 대한 정보를 포함하며,
상기 컴퓨터는 상기 시료의 표면을 스캐닝할 때 획득된 상기 탐지빛의 위상 변화에 대한 정보를 이용하여 시료
의 표면에 대한 구조적 형상을 판단하며, 상기 탐지빛의 진폭 변화에 대한 정보를 이용하여 시료의 표면에 대한
물질적 특성을 판단하는 것을 특징으로 하는 복합 기능 현미경.​