신청 기술 명칭
T형 전기기계 메모리 소자와 그 동작방법 및 제조방법
페이지 정보
작성일15-03-17 11:25-
- 출원번호
- 10-2009-0097685
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- 출원일자
- 2009년10월14일
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- 출원상태
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- 공개번호
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- 공고일자
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- 등록번호
- 10-1035537
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- 등록일자
- 2011년05월12일
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- 심사청구항수
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- IPC 분류
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- 발명자
- 최우영
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- 출원인
- 서강대학교산학협력단
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- 대리인
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- 우선권
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- 우선권 주장일
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- 우선권 주장국
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- 지정국
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- 국제 출원 번호
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- 국제 공개 번호
대표 청구항
소정의 평탄면을 갖는 기판;
상기 기판 상에서 x축 방향으로 형성된 하부 보조 워드라인;
상기 하부 보조 워드라인과 수직으로 이격되며 y축 방향으로 형성된 비트라인;
상기 비트라인과 절연되며 수평으로 이웃하여 y축 방향으로 형성된 주요 워드라인;
상기 주요 워드라인의 하부에 형성된 하부 절연막;
상기 비트라인에 일단이 연결되고 타단은 상기 하부 보조 워드라인과 상기 하부 절연막 사이에서 x축 방향으로
부양되도록 형성된 하부 캔틸레버 전극; 및
상기 비트라인과 상기 주요 워드라인을 지지하며 서로 절연시키는 층간절연막을 포함하여 구성된 것을 특징으
로 하는 전기기계 메모리 소자.
상기 기판 상에서 x축 방향으로 형성된 하부 보조 워드라인;
상기 하부 보조 워드라인과 수직으로 이격되며 y축 방향으로 형성된 비트라인;
상기 비트라인과 절연되며 수평으로 이웃하여 y축 방향으로 형성된 주요 워드라인;
상기 주요 워드라인의 하부에 형성된 하부 절연막;
상기 비트라인에 일단이 연결되고 타단은 상기 하부 보조 워드라인과 상기 하부 절연막 사이에서 x축 방향으로
부양되도록 형성된 하부 캔틸레버 전극; 및
상기 비트라인과 상기 주요 워드라인을 지지하며 서로 절연시키는 층간절연막을 포함하여 구성된 것을 특징으
로 하는 전기기계 메모리 소자.