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판매기술목록

신청 기술 명칭

T형 전기기계 메모리 소자와 그 동작방법 및 제조방법

페이지 정보

작성일15-03-17 11:25
  • 출원번호
    10-2009-0097685
  • 출원일자
    2009년10월14일
  • 출원상태
  • 공개번호
  • 공고일자
  • 등록번호
    10-1035537
  • 등록일자
    2011년05월12일
  • 심사청구항수
  • IPC 분류
  • 발명자
    최우영
  • 출원인
    서강대학교산학협력단
  • 대리인
  • 우선권
  • 우선권 주장일
  • 우선권 주장국
  • 지정국
  • 국제 출원 번호
  • 국제 공개 번호

대표 청구항

소정의 평탄면을 갖는 기판;
상기 기판 상에서 x축 방향으로 형성된 하부 보조 워드라인;
상기 하부 보조 워드라인과 수직으로 이격되며 y축 방향으로 형성된 비트라인;
상기 비트라인과 절연되며 수평으로 이웃하여 y축 방향으로 형성된 주요 워드라인;
상기 주요 워드라인의 하부에 형성된 하부 절연막;
상기 비트라인에 일단이 연결되고 타단은 상기 하부 보조 워드라인과 상기 하부 절연막 사이에서 x축 방향으로
부양되도록 형성된 하부 캔틸레버 전극; 및
상기 비트라인과 상기 주요 워드라인을 지지하며 서로 절연시키는 층간절연막을 포함하여 구성된 것을 특징으
로 하는 전기기계 메모리 소자.​bb6244333a30a8e1033bc78fcd9b2f6e_1426559