표면탄성파(SAW) 소자를 이용한 표면탄성파(SAW) 수소센서에 있어서, 실리콘(Si) 기판(110)과 그 기판 상부 면에는 질화알루미늄(AlN) 박막(112)이 형성되고 그 박막 상부 면의 양측으로 입력 IDT 전극(113)과 출력 IDT 전극(114)이 형성된 표면탄성파(SAW) 소자(100)와; 상기 질화알루미늄(AIN) 박막(112)과 상기 입력 및 출력 IDT 전극(113,114)의 상부 면에 형성되어 차례대로 층을 이루되 상기 전극의 전극 가지(115) 부분을 덮으며 형성되는 나노입자 검출층(120)을 포함하되 상기 나노입자 검출층(120)은 나노입자로 이루어진 산화아연(ZnO) 박막(122)과 그 상부 면에 형성되어 촉매 작용을 하는 백금(Pt) 박막(123)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표면탄성파(SAW) 수소센서.