위노베이션(주)
haeum
위노베이션(주)는
고객의 지식재산 가치를 위해
보다 한차원 높은 차별화된 서비스를 제공하는
기술사업화 전문가들로 구성된
글로벌 컨설팅 회사입니다.

WEnnovation

위노베이션(주)를 방문해주신 여러분을 진심으로 환영합니다.
오랜 경험과 풍부한 전문지식을 바탕으로
성공적인 비즈니스 파트너가 될 것을 약속드립니다.

판매기술목록

신청 기술 명칭

그래핀계 탄소소재 전자소자 및 그 제조방법

페이지 정보

작성일15-03-17 13:55
  • 출원번호
    10-2012-0049935
  • 출원일자
    2012년05월10일
  • 출원상태
  • 공개번호
  • 공고일자
  • 등록번호
    10-1347889
  • 등록일자
    2013년12월27일
  • 심사청구항수
  • IPC 분류
  • 발명자
    김용수|최학순|이건희
  • 출원인
    울산대학교 산학협력단
  • 대리인
  • 우선권
  • 우선권 주장일
  • 우선권 주장국
  • 지정국
  • 국제 출원 번호
  • 국제 공개 번호

대표 청구항

유연성 기판 위에 그래핀 옥사이드층(Graphite Oxide Layer)을 형성하는 그래핀 형성단계; 상기 그래핀 옥사이드 위에 패터닝된 마스크를 형성하는 마스크 형성단계; 상기 마스크 위에 금속을 증착시키는 금속 증착단계; 상기 마스크를 제거하는 마스크 제거단계; 상기 마스크가 제거된 상기 유연성 기판 위에 형성된 그래핀 옥사이드층을 환원하는 그래핀(Graphene) 환원단계;를 포함하되, 상기 그래핀 환원단계는; 펄스 레이저 노출(Pulsed Laser Exposure), RF 플라즈마 노출(RF Plasma Exposure) 및 전자빔 노출(E-Beam Exposure)중 어느 하나 이상의 물리적 방법을 사용하고, 이후 후속 열 처리(Thermal Annealing)로 상기 그래핀 옥사이드층을 환원(reduction)시켜 드레인 전극, 소오스 전극 및 채널층을 동일면에 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자의 제조방법.

 

407993bd3967c489a66790c2f3de51c4_1426568